摘要：在超大面积电子厂房的洁净室系统中，特别是在电子平板显示器件洁净厂房中，由于洁净室的净化级别比较高，需要在洁净室内设置下夹层独立回风系统结构，因此需要设置垂直单向的洁净室的回风结构。因此高架地板（Raised Floor）系统和华夫孔（WaffleSlab）系统承担了电子净化厂洁净室的垂直单向通风，高架地板和华夫孔盖板在洁净室中不仅起到了通风作用同时它还起到着和承重以及导静电的效果。而承重则是高架地板最为基本的作用，为了测试地板的承重质量是否合格，需要对地板的集中荷载以及极限荷载进行检测，而现在实行的高架地板检测规定中并没有对地板的集中荷载以及极限荷载的检测位置、数量作出明确的标准，规定了高架地板四点位荷载检测法，可以有效保证高架地板的承重能力。本文主要针对高架地板结构与华夫孔的优缺点展开研究。以供参考
关键词：洁净室；高架地板；华夫孔
随着我国的电子厂房设计观念不断创新，超大面积洁净室系统经济制造价格逐渐增加。高架地板和华夫孔都是洁净室常用材料，其二者各有优缺点，在实际应用中需要根据情况来选择。
1 概述
在最初电子工厂洁净室系统中，尤其是在电子平板显示器件洁净室中，因为洁净室洁净程度相对较高，需要在洁净室里设置垂直通风系统结构。在最初洁净室系统中，地面结构通常设置成高架地板支撑系统，主要是通过可调节支架、横梁、面板等部分组合，部分洁净室对于地面承重程度要求相对较高，通常在高架地板下设置独立工字钢来作为高架地板的支撑调平结构。高架地板支架、横梁、面板技术能力要达到设计要求以及我国现有规范规定。高架地板是通过支架、横梁、面板组装，水平地板和面板之间存在一定悬空空间，可用于走线或是回风。在目前电子显示屏洁净室中，出现华夫孔，它是一种新型垂直单向无尘室地板结构。华夫孔盖板地板结构特征便是：地面可以通风、透气性能好。功能结构与高架地板相似：一是作为新型地面材料进行承重，二是带孔华星筒盖板表面有空洞。可以达到洁净室内部气流循环[1]。
.png)
2.高架地板
2.1高架地板介绍
高架地板可称为防静电楼板，也称为分散式静态楼板，即在接地时或与任何较低电势点连接时，电荷可以分散。洁净后可能导致某些器材损坏，软件人员有时会错认为这是软件出现BUG，此外，当静电通过身体发出计算机或其他设备时，当能量达到一定水平时，可能会出现打火状态。高架地板形状为矩形，基本上长宽呈60厘米*60厘米，地板厚度约为55mm-60mm，会有少量上下浮动。地板厚度因制造商而异，取决于轴承不同厚度。高架地板基材为模压铝合金，表层为2mm-3mm厚防静电PVC板或1mm-2mm厚不锈钢贴面。地板类型包括盲板、多孔板(即蜂窝板，开孔率为17%、25%)、格栅板(开孔率50%)和视窗板。视窗板下有工艺设备工艺所需气体冷却或工艺水阀，并提供可视板，操作人员在洁净室中可以观测并关闭或者开启设备阀门。高架地板能承受80千克以上压力[2]。
2.1高架地板安装步骤
高架地板施工步骤包括立柱、横梁、转角接头、地板系统、地板、测试和质量控制。安装时现场实际温度应控制在在5-35摄氏度之间，相对湿度应小于80%。地板在安装过程中极易出错，如没有达到某一角度，因此需要在地板施工前进行预设，以防止由于重大安装误差而导致施工延期。在安装中若出现现场边角部分不契合现象时，可以对地板进行切割根据具体情况进行镶嵌。配备可调节支架，在切割边缘与墙面物体相交地，使用无灰尘软材料进行填补。在安装屋顶支撑结构之前，检查水平高度，其前端必须符合设计要求，高度误差范围必须符合设计要求范围内，建筑材料必须符合设计要求。如果设计中没有特殊要求，则必须满足以下要求:空底板表面平整牢固，板与表面之间必须牢固，具有耐磨性、耐湿性和阻燃性。车架、线束和车钩表面应光滑干净，钢件应采用锌合金、塑料喷涂或其他防锈处理。防静电性能指标、机械性能和外观质量应符合SJ-10796防静电地板通用规范要求。施工中具备基本设备和工具，包括切割机、平板、米尺、清洗打蜡机、测试电极和测试仪水平仪等。工具规格、性能和技术指标应符合施工技术要求[3]。
2.2优点
（1）承重
高架地板承重能力强。洁净间内人员在地板上行走、清洁。自动驾驶搬运车需要在高架地面上行驶，运输产品。一些生产设施直接放置在地板上，给高架地板增加载重。承重是活动地板最重要功能之一，保障人员安全和设备安全。
（2）通风
天花板上装有FFU，相当于高效过滤器，气流从天花板向下流动，通过多孔板形成层流，最后进入下面两层。使得洁净间通气足，减少潮湿和空气流通不畅问题。保障设备不易生锈，工作人员呼吸通畅。
（3）防静电
高架地板属于耗散静电地板，如果它接地或连接到较低电位点，它可以消散电荷并防止电子元件静电放电。中国SJ/T10796-2001《抗静电高架土壤通用规范》规定活动地板的表面电阻或体积电阻为 2.5*l04Ω- 1.0*109Ω。在洁净间中设备和产品数量多，静电会影响设备准确性和产品功能性。
2.3缺点
（1）易损伤
楼板边缘的中心通常很弱，通常导致结构损伤。如果高地板支撑系统设计不好，地板的上升边缘可能会在高压下破碎下沉，这可以通过放置负载轴承梁来解决。
（2）薄弱
高架地板中间部分最弱，移动过程设备时，设备支撑腿会对楼板造成结构损伤，楼板表面会出现小坑。
3.华夫孔盖板地板
3.1华夫孔盖板介绍
华夫孔板楼板结构是近年来洁净室的一种新楼板结构，主要由瓦片开孔、转换环和盖板组成。华夫孔板本身通常自带开环，而且顶板表面具有抗静电性能。因此在抗静电测量中华夫孔板与高架地板系统具有相同抗静电效果，但高架地板系统相比，华夫孔板安装效果更好[4]。
3.2施工步骤
（1）准备建筑材料和工具
华夫孔板维修环、石英砂、滑石粉和环氧树脂，搅拌器、橱柜等。
（2）材质配置
根据配置系数将环氧树脂、石英砂和滑石粉混合，然后将它们倒入搅拌槽中，以制造出环氧树脂胶泥，注意必须在特定时间使用，否则会因硬化而损坏。
（3）涂抹
用刮刀刮除并覆盖修补环底部环氧树脂华夫格孔，以达到涂层均匀，不允许涂层泄漏，用量应根据实际情况确定。
（4）定位
用刮刀按压华夫孔板修复环进行定位。
（5）设置
用橡胶锤轻轻敲击，调整定位修复环周围表面高度。标准高度必须在激光平面上监控，以适应基点。
3.2优点
（1）简单
与高架地板施工相比，华夫孔施工过程比较简单。
（2）价格低
一般来说，市场高架地板价格约为2500元/平方米左右。但是如果采用华夫孔覆盖层结构，则价格应为1400元/平方米左右，与高架地板相比节约一半。
3.3缺点
（1）技术要求高
对施工技术要求高，环节琐碎。
（2）需养护
需要进行养护，保养期间，严禁工人和物品掉在上面，并对其施加影响。
（3）环境要求高
施工环境和卫生要求较高，环氧树脂胶泥需要随时清理，禁止遗留。环氧树脂胶泥硬化后难以清洗，对以后工作有很大影响。
4 结语
考虑到上述设计和经济角度，高架地板在高层楼面结构方面有明显优势，但华夫孔是市场洁净室新楼面结构，需要从各个方面考虑和评价其长期使用。因此，预计洁净室高架地板结构和华夫孔二者选择需要实际设计中选择。
参考文献：
[1]王一博,冯诚恭.电子厂房生产区高架地板的施工工艺和验收要点[J].住宅与房地产,2020(12):285.
[2]关子谦,樊洪明.某洁净厂房高架地板布置率优化设计[J].洁净与空调技术,2019(04):64-66.
[3]王志伟,周海涛,景介文,陈佳明.超洁净电子厂房无高架地板华夫板施工[J].施工技术,2019,48(S1):958-960.
[4]丁长勇.大面积洁净室高架地板关键施工技术[J].安装,2017(04):35-36+55.