浅析探针台维修和设备保养的重要性

发表时间:2020/9/9   来源:《科学与技术》2020年28卷9期   作者:李林山
[导读] 随着半导体芯片的性能不断的提高,对半导体设备的精度也要求越来越高
        摘要:随着半导体芯片的性能不断的提高,对半导体设备的精度也要求越来越高,尤其是一些高端的半导体设备非常昂贵,从单纯的手动操作变成全自动,这样对于维修人员来讲,没有相关的维修经验,在面对高度集成化,智能化的设备时,显得很被动,所以在维修保养过程中必须按照有关规定进行。

        关键字:探针台;设备维修;设备保养;重要性
        引言
在日新月异的半导体产业中,设备的更新很快,从原来的手动操作逐步改进到自动操作,不仅提高了生产效率,而且还提高了生产质量。高度集成化和智能化的设备越来越得到大家的喜欢,这就需要我们定期的维修和保养,以延长使用的寿命和提高使用率。在设备发生故障时,一般有人为原因和自然原因。人为因素包括操作员的操作失误、安装错误或者其他人为原因。自然原因包括设备使用过程的磨损及偶发故障等。
        一、探针台设备的常见故障
探针台的一般故障可以分为以下几类:人为故障和自然故障。人为故障是指由于操作不当、安装错误或操作人员意外破坏所造成的机器运行过程中的故障;自然故障是设备在机器正常运行过程中遇到断电、过载、磨损、机械故障等许多不利因素的影响。尽管对设备采取了有效的维护、维修和定期检查措施,机器维修不能保证设备长期正常运转,不会发生故障。因此,为了提高设备的使用效率,必须及时查明并排除故障。这里以EG2001探针台的维修维护作以下讲解。
1.1设备按下启动按钮无法进入系统
这种故障主要有几种可能。首先要检查主机和控制箱通信是否正常,可以用专业仪器来检测。其次是主机BIOS的设置是否正确,因为老式主板存在掉电后芯片参数不会保存很长时间。再是电路方面的故障,检查启动按钮是否损坏,电源进线保险是否烧断,5V电源是否正常等。
1.2探针台出现Z-SLIP故障
Z-SLIP故障是探针台常见的故障,很多维修人员对此很头疼,因为故障点很广泛,多处线路及机械故障都会导致Z-SLIP。现在总结出现这种现象的原因。1.Z轴的传动皮带过紧或者过松,调节到合适的张力。2.Z STEM的缸与缸套之间的摩擦太大,需要清洁润滑。3.平面电机上的Z轴电机缺相,测量电机绕组即可判断,在20欧姆左右,坏掉则需更换电机。4.连接Z轴电机的P128排线故障,长期运动导致磨损破皮,需更换。
1.3设备开机LOADER开关无法打开,开机抖动
LOADER端在开机时会自行启动,无需中央控制板的控制。1.开关无法打开的原因一般是预对准轴或者机械手没有在初始位置,传感器没有感应到,手动调节即可。2.开机抖动的故障可以从电源排查入手,先检查电源电压,然后用示波器测量波形,一般故障可以消除。
1.4探针台运动步进错误
    在设备运动过程中平面电机在X,Y方向来回运动,长期的运动会导致一些精度上的故障。此故障我们先排查X驱动板和Y驱动板是否正常,用替换法很容易排查。再是检查平面电机的排线是否有磨损,必要时更换。三是检查压缩空气是否在标准范围之内。

最后检查平面电机底部的微孔有没有堵塞,撬起平面电机清洁。
        二、探针台的故障检查方式
设备发生故障时,不要盲目的拆卸,先要清楚故障发生的现象,分析故障的原因。
首先,常规的方法检查电源电压,设备漏电或者短路等。初步检查后,我们需要进行更进一步的检查其他故障,并在出现上述情况后立即切断电源进行维修。
其次,遇到维修难度大的故障时,要仔细查看设备说明书或者图纸,系统地检查各种设备操作系统数据。对于没有相关数据库记录的设备,也可以对同一设备进行比较。对于一些难以检测的数据或长期检测的问题,可以采用替换相应原始数据的方法。
        三、探针台设备的保养措施
为了保证设备的使用寿命,对设备进行维护保养是必要的。定期维护的必要性在随附电气设备的说明书中予以强调。在电气设备使用过程中应定期进行检查,通过检查结果,如果需要对设备进行维修或维护,可以保证设备长期不出问题。电气设备的维护主要从以下几个方面着手:
第一,保证设备的日常维护,建立相应的PM网络系统,及时填写,避免忘记维护,要把维修工作与相关员工的利益联系起来,奖惩制度需规范,确保维修工作的有效进行。
第二,建立设备点检系统,在设备检查过程中,一定要更加严格,定期组织相关人员进行检查,并记录维修过程中的相关信息,包括设备的使用情况、维修时间、维修方法、维修次数等,以利于日后的维修工作。
第三,加强对相关人员的管理,包括操作人员、维护人员和维修人员。相关操作人员应充分了解正常操作过程,熟悉设备的性能和状况。在维护和维修过程中,必须根据公司和设备的情况定制相应的计划,确保工作有序进行。
第四,制定科学合理的维护措施,根据设备的不同情况制定相应的设备维护方法,保证设备有自己的维护方法。
虽然从表面上看,日常维护需要投入大量人力及资金,但是从设备的实际出发,维护可以延长设备的使用时间,减少故障率,长远看是值得的。再者,虽然在设备的使用过程中必须不断地进行维护工作,但这项工作相对简单,使用的资金非常少。另外,随着设备使用时间的延长,设备的故障概率越来越高,维修过程的费用也远远高于维护费用。因此,设备维护对相关人员的工作是非常重要的。
        四、结束语
大部分的电气故障是由于忽视了设备的日常维护和保养,使微小的缺陷发展成严重的事故。有些故障是由于电气维修人员在处理电气故障时操作方法不当,或因判断和测量不当而扩大了事故的范围。因此,为了保证设备能正常工作,减少因电气维修而造成的停机时间,提高探针台的使用效率和生产效率,必须重视设备的维修和保养。
        参考文献:
        [1]程昊,浅析电气设备维修和设备保养的重要性[J].中国科技博览.2012
        [2]仇学仕,浅析电气设备维修与设备保养的重要性[J].中国经贸.2017
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