中国电子系统工程第二建设有限公司
摘要:光电项目二次配工艺在项目施工中运用十分广泛。重庆某102B建筑工艺设备二次配管、线工程项目，为多晶硅芯片的研发及生产车间，纵览整个施工过程及施工内容，二次配工程中工艺二次配管施工技术显得尤为突出，其有工作量大、施工作业点位多，施工难度大、技术含量高、所用材料型号特殊多样、设备接口复杂、尺寸规格多等特点和难点。本文根据作者本人多年来的专业技术经验进行了阐述，仅供参考。
关键词；二次配管、工艺配管、施工技术
1.工艺二次配管技术在项目施工过程中的困难及其解决方法
1.1项目施工中的困难
在本项目施工中，设备基本上采用进口翻新旧设备，此设备铭牌遗失或数据模糊不清，功能参数不全，设备工艺接口缺失或损坏，且规格型号复杂，接口尺寸标准多不统一，管道专业所用材料复杂，各种型号、材质的金属、非金属都几乎遇到了，这给施工增加了不少的难度，在施工中碰到很多棘手的技术难题，因设备的特殊性，很多设备接口尺寸规格不常用，特别是用于管道连接的接头，有些接头市场占有率非常少，很难买到，这就很难保证按施工进度计划实施，因为管道系统不像其他专业那样，缺部件也可以进行下一阶段的工作。因管道输送的介质大部分是有毒有味的气体或液体，都有一定的工作压力，这就要求管件、阀门、接头具有很好的密封性能，在施工过程中严格按照施工顺序进行制作组装、安装固定，保证施工质量，严格进行压力试验。因此施工中不能缺少相应的管配件和接头，运行时更不能存有侥幸心理、找其它相仿的构件代替，要做到二次配管施工前所需材料的齐全和完好。
1.2解决方法
工程中管道专业在空间设计、材料选用及施工质量上都花了很多的精力，通过验收，获得了业主的认可和好评，我作为本项目的技术主管人员，充分体会到专业理论知识的严谨与实际操作技能相结合融通的重要性，为了在以后的工程实施中能更快更好的做好工艺二次配管技术管理工作，有类似的经验参考，以下是对本项目施工技术做出解决方法：
栅氧化清洗机和氢氧扩散清洗机安装就位后，设备后部留出的工艺配管空间相当狭小，高架地板下的空间只有500mm，但设备各系统接口点位数共计约有70多个，且都为高纯气体、超纯水及化学药品管道和废液管道，这种情况下采取分层、分排和分列的综合布管方案，充分突出狭小空间高密度布管的配管技术能力。施工实例如下图一所示：
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图一、栅氧化清洗机和氢氧扩散清洗机二次配管
因设备接口密集（同一个系统），按传统理念进行一对一的配管模式进行配管，光是管道就会占用很大的操作空间且需要在高架地板上开很多孔，施工难度大、效率低且地板上开孔过多视觉不好等缺点。本项目中采取集中分集流的方案，先把主管送至设备附近，利用分集水器原理，制作成多接口容器，然后再根据设备需要采用可承压及可任意弯曲和捆绑的软管接通设备接口，提供能源，这样就大大缩小了占用空间，施工安装中由于可预制化，有效提高施工效率。施工实例如下图二所示：
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图二、集中预制化二次配管
利用金属壁板和铝合金轻型龙骨作为管道布管的支撑系统，这样管道和操作阀门都在房间内，现场管道空间布管合理、横平竖直，阀门高度、操作面一致，显示仪表完善，给用户的感观意识就会层次分明，操作维护方便。
KF/ISO真空系列专用法兰接头及构件，在氢氧扩散炉、氢氧合成炉、高低温退火炉、金属和多晶刻蚀机及磷硅玻璃淀集系统设备中的干式真空泵真空管道配管、设备接口及泵口、阀件都用到了KF（公称直径＜DN50）、ISO（公称直径≥DN50）真空系列专用法兰接头及构件，这种接头及密封构件最大的好处就是构件简洁美观，装卸简单、维修方便，O型密封圈在负压状态下密封性能较好，是工艺真空管道及设备常用配件，与螺纹和法兰方式连接相比，其优异性能显而易见。
本项目中设备接口管径小、集中，附属设备多，一台设备有上百个接口且设备配管面板面积小，如没有合理的配管方案和施工顺序，很多管道系统就可能没有位置安装或安装不到位、产生泄露的情况发生，为了避免这种现象的出现，只有合理的设计布管位置、优化安装施工顺序，才能使二次配管效果达到理想状态。本项目二次配管工程中，管路系统中使用了大量的塑料软管，如PE管、PFA管、PU管等等，其柔软性好、活用性强、结构紧密，不污染环境等特点使它们在施工材料中占有较大的比重，通常也是可移动和震动设备的首选材料， PFA软管更是在化学品或超纯水管路系统中应用广泛，但由于软管有其特殊的可塑性，连接不好就常会泄露，要避免这种缺陷的出现，在选材时就得下功夫，保证材料质量是关键；一方面，接头与软管的尺寸要统一，目前市场上的软管接头形式多样、规格尺寸五花八门、软管也有很多种规格标准（国标、英制、日标等），选择配套的管材与接头是保障施工质量的重要因素；另一方面，保证施工过程的质量，运用熟练的技巧，减少对塑料管的损坏，避免施工中对管子硬力挤压和弯折，保护好接头及管子接头处外表面的完好。
2．工艺二次配管技术的实际运用
在电子行业生产工艺中特气是不可缺少的能源，本项目也不例外，作为输送有毒有害、高压密闭的管路系统，特气管道洁净等级高、管道直径小、布管密集，这就需要在管道系统的材料选用、支架形式和规格的设计、制作和安装方案的组织等过程中下苦功夫，严把技术、质量关，在整个系统中支吊架显得尤为重要，用一句非专业性的话说就是管道要做的漂亮，关键在于支吊架是否设计的合理、制作和安装的完整。特气管路支吊架采用不锈钢或镀锌的C型及C型钢扣件，利用螺栓灵活组装成的吊挂支架和连廊式支架，既可以在感观视觉上起到空间美观作用，又可在施工中减少焊接作业，以此更可大大提高作业效率和减少对洁净室环境的破坏。值得注意的是：不锈钢管材与镀锌C型钢之间应用PE或PVC材料隔离，两者之间不得直接接触，防止管材碳化生锈。
3．总结
二次配管工程，材料多而种类杂，很难做到面面俱全，但只要在工作中不怕繁琐、细心积累，用持之以恒的耐心去做、去认真总结思考，努力实现新技术应用。工作就能干的漂亮、工程就能做好,吸取经验，不断地摸索和探取，我们的工作就会有新的突破，我们的技术能力就会有更好的发展。